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直接驅(qū)動電動位移臺，8MTL系列電動平移臺采用三相無鐵無刷伺服電機技術，可通過高精度，可重復性和低摩擦力實現(xiàn)零間隙運動。線性非接觸式光學編碼器可確保以亞納米級的運動分辨率直接控制位置。氧化鋁合金保證了高溫穩(wěn)定性，8MTL儀器的柔軟性和優(yōu)異的長周期運動學，無導向系統(tǒng)漂移。該平臺占地面積小，可將其集成到高密度機器和狹小空間應用中，且可用于超凈室和真空（高達10-3 Torr）應用。

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鐵磁不銹鋼面包板 整體采用三層加心架構，厚度50mm，上臺面為不銹鋼，中心為蜂窩狀支撐結構，底面為碳鋼。上臺面采用精密磨削工藝，保證臺面的平面度。

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1VIS22 系列氣浮隔振系統(tǒng)氣浮隔振系統(tǒng)1VIS22是對振動敏感的設備的理想平臺，例如，顯微鏡，刻度，干涉儀和類似設備。該系統(tǒng)具有堅固且輕便的支撐，具有各種尺寸，可以支持各種桌面尺寸。每根支撐腿的最da承載能力為1000 kg。